이 뉴스 릴리스 (제품 가격, 제품 사양, 서비스 세부 정보, 출시일, 연락처 정보, URL 등)의 정보는 공지 날짜입니다. 정보는 통지없이 변경 될 수 있으며 검색 날짜와 다를 수 있습니다. 최신 문의는 다음과 같이 문의하십시오.연락처 목록를 참조하십시오.
2004 년 4 월 9 일
새로운 선형 드라이브와 함께 "터널 액추에이터"
40g의 세계 최고 가속도를 달성
-Semiconductor 제조 장비, 소규모 정밀 처리 기계로의 도로
카지노사이트. Hitachi Laboratory (Director : Fukunaga Yasushi; 이하 Hitachi라고 언급)는 선형 구동 장치 (이하 인 Tunern Actuator로 참조되는 이하)가있는 고정화 위치를 가진 선형 구동 장치로서 40G (중력 가속도의 40 배)를 세계에서 가장 높은 가속도를 달성했습니다. 터널 액추에이터는 기존의 선형 모터에 비해 컴팩트하며 저렴한 비용의 우수한 기능을 가지고 있습니다. 이 높은 가속 성능의 실현은 향후 반도체 제조 장비, 소규모 정밀 처리 기계 등의 생산성 향상 경로를 열어 줄 것입니다.
최근 몇 년 동안 반도체 제조 장비 및 공작 기계의 생산성을 향상시키기 위해 고속, 갑작스런 가속 및 감속, 고정밀 포지셔닝 등에 적합한 선형 구동 장치의 적용 범위가 확장되었습니다. 그러나 선형 모터는 전통적으로 고속 선형 구동 장치로 사용되었습니다.*1장치가 크고 원칙적으로 높은 생산 정확도가 필요하기 때문에 비싸다는 문제가 있습니다. 이러한 배경을 감안할 때 선형 모터를 대체하는 작고 저렴한 선형 구동 장치를 개발하는 것이 바람직했습니다.
Hitachi에 의해 고안된 터널 액추에이터는 간단한 구조를 가지며 조립하기 쉽기 때문에 영구 자석으로 만든 움직일 수있는 요소가 더 가벼워집니다. 움직일 수있는 요소의 무게를 줄이는 것 외에도, 우리는 빠른 가속 및 감속을 견딜 수있는 고속 고속 고정식 제어 시스템을 개발하여 선형 모터 크기의 2 ~ 4 배의 세계적 수준의 가속도를 달성했습니다. 개발 기술의 기능은 다음과 같습니다.
- 소형 구조: 상부와 하부 극 치아 사이의 간격에 이동을 놓아 자기 인력이 상쇄되었습니다. 이를 통해 갭 지원 메커니즘을 단순화하고 컴팩트하게 만듭니다.
- 큰 추력 달성: 자기 플럭스는 상부 및 하부 극 치아 사이의 흐름이기 때문에, 멀티 폴 구조조차도 누설 자기 플럭스가 거의없고 큰 추진력을 얻을 수 있습니다.
- 경량 구조: N 및 S 극을 교대로 배치하여 이동식 요소의 영구 자석을 쉽게 구성 할 수 있습니다. 전통적인 선형 모터와 마찬가지로 스틸 플레이트에 부착 할 필요가 없으므로 1/5 이하로 줄일 수 있습니다.
- 생산 비용 감소: 다중 공포 구조를 구성 할 때에도 한 전기자 와인딩을 사용하여 전기자 와인딩에 해당하는 하나의 전기자 와이드를 사용하여 와인딩 작업 및 리드 가공을보다 쉽게 생산 비용을 고려하여 비용을 절감 할 수 있습니다.
이번에 개발 한 고성능 터널 액추에이터는 선형 모터보다 작고 저렴한 비용이 작으며 가속 성능이 높아서 반도체 제조 장비, 소규모 정밀 머시닝 머신 등의 생산성 향상에 기여할 수 있습니다.
이제 Hitachi는 응용 제품의 요구 사항을 충족하는 최적의 시스템을 계속 구축 할 것이며 1-2 년 후 실제 장비에 적용하는 것을 목표로합니다.
 |
|
용어집
|
| *1 |
선형 모터 : 구조는 단순히 평평한 표면에서 열리고 펼쳐져 있으며, 전기자와 움직일 수있는 요소 사이에 큰 자기 인력이 적용됩니다. 이 흡입력은 필요한 추력보다 몇 배 더 크며 선형 베어링과 같은 가이드 지원 메커니즘에는 높은 강성과 정확도가 필요합니다. 이러한 이유로 기존의 선형 모터는 제한된 응용 프로그램 범위를 가지고 있으며 비용이 제한적입니다. |
프로토 타입 터널 액추에이터
|
위
글로벌 사이트
문의 
