2023 년 6 월 14 일
슬롯존, Ltd.
슬롯존 Power Solutions Co., Ltd.

슬롯존, Ltd. (이후 슬롯존라고 불림) 및 슬롯존 Power Solutions Co., Ltd. (이후 슬롯존 Power Solutions라고 불림)는 2023 년 국가 발명상을위한 2023 년 국립 발명 상을 수상했습니다. 반도체 웨이퍼 접합부의 결함을 자동으로 감지하는 초음파 검사 기술. 그것은 우수한 창의적 단계를 가지고 있고 구현에 현저한 영향을 미치는 발명으로 인식되었습니다.
2023 년 6 월 12 일 개최 된 시상식에서 슬롯존 Power Solutions의 사장 겸 CEO 인 Ando Tsuneo는 발명가 및 기업 대표로 수여되었습니다.

"National Invention Award"의 요약

전국 슬롯존상은 1919 년 일본의 슬롯존품, 고안 또는 디자인의 제작자뿐만 아니라 슬롯존의 구현 및 격려에서 성과를 달성 한 연구원 및 과학자들을 존중함으로써 과학 기술 및 산업 개발의 ​​개선에 기여하기 위해 1919 년에 설립되었습니다.

반도체 웨이퍼 접합의 결함을 자동으로 감지하는 "초음파 검사 기술"개요

조인트 슬롯존의 초음파 검사는 전자 부품 제조 현장에서는 신뢰성을 보장하기 위해 필수적입니다. 반면, 회로 패턴은 급격히 작아지고 3 차원이되며, 여기서 웨이퍼가 쌓이고 장착되어 있으며, 검사 장비는 웨이퍼 상태에서 훨씬 더 작은 슬롯존을 감지 할 수 있어야합니다.

이번에 이겼던 초음파 검사 기술은 통계적 처리에 기초하여 고감도가 약 10 µm의 슬롯존을 자동으로 감지하는 기술입니다. 제조 공차 내에서 변동하여 작은 슬롯존을 감지하고 웨이퍼 접합 표면에서 생성 된 슬롯존 분포를 시각화하는 회로 패턴의 형태의 변화를 분리 할 수 ​​있습니다.
이것은 슬롯존있는 프로세스를 식별하고 프로세스 조건의 빠른 개선을 허용하여 전자 구성 요소의 안정적인 공급에 기여합니다.

그림. 본 발명에 따른 자동 슬롯존 탐지 결과의 예

슬롯존 요약

슬롯존 정보

연락처 정보

슬롯존, Ltd. 연구 및 개발 그룹

슬롯존 Power Solutions Co., Ltd.